潔凈室，又稱潔凈室，是指污染程度低的環(huán)境。這里的污染源包括粉塵、空氣傳播的微生物、懸浮顆粒物和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地說，潔凈室有一個受控的污染水平，可以通過每立方米的顆粒數(shù)或最大顆粒尺寸來確定。低級潔凈室通常不消毒(比如沒有控制微生物)，更關(guān)注空氣中的粉塵。
潔凈室的定義：清除空間內(nèi)空氣中的塵粒和其他污染物，獲得一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。也就是這個環(huán)境中灰塵顆粒相當(dāng)少，稱為潔凈室。潔凈室廣泛應(yīng)用于對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥工業(yè)等。其中半導(dǎo)體行業(yè)對室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度的要求特別嚴(yán)格，必須控制在一定的需求范圍內(nèi)，以免影響工藝。潔凈室作為一種生產(chǎn)設(shè)施，在廠房中可以占據(jù)很多位置。
潔凈室系統(tǒng)產(chǎn)生符合規(guī)范的潔凈空氣，持續(xù)穩(wěn)定地向用戶端提供足夠的潔凈空氣，并對室內(nèi)制造區(qū)域進(jìn)行清潔。下面簡單介紹一下鴻潔源：的潔凈室處理工藝，室外空氣通過室外空調(diào)箱過濾灰塵并控制其溫度和濕度后，通過回風(fēng)管將潔凈室的循環(huán)風(fēng)量與室外空調(diào)箱的補(bǔ)充風(fēng)量混合，通過冷卻盤管將回風(fēng)管之間的回風(fēng)冷卻到潔凈室要求的規(guī)格， 驅(qū)動潔凈室的氣流通過循環(huán)風(fēng)機(jī)或FFU使粉塵和熱量循環(huán)，最后經(jīng)過超高性能濾網(wǎng)或過濾后供給Fab區(qū)域。
