按照國際慣例，無塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物數(shù)量來定義的。也就是說，所謂無塵并不是100%無塵，而是控制在一個非常小的單元內(nèi)。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的粉塵來說是非常微小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以無塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)的必然要求。
如果每立方米小于0.5微米的塵粒數(shù)控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用于芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對粉塵的要求比A級更高，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要應(yīng)用于一些更高級別的芯片的生產(chǎn)。細(xì)粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
